施設

外部共用可
半導体材料を中心としたデバイスプロセス研究のための微細加工クリーンルームです。多種多様な材料を用いて試行することが可能であり、小片試料からウェハ基板まで適応しているため、基礎基盤研究のみならず、応用を見据えた発展的な研究開発にも対応している共用施設です。

外部共用可
世界最高峰の精度を誇るスーパードライルームです。給気露点は-90℃以下、水分量はわずか0.1ppm以下と非常に低く、小型電池の試作から電池評価、分析評価に至るまで幅広く対応します。次世代蓄電池開発や分析に最適な非水環境を提供します。

多数試料の自動測定が可能な単結晶X線構造解析装置です。最大48個の試料を格納し、ロボットアームによるキャピラリ試料の回折計への自動マウント、自動センタリングが可能です。無人連続測定で多数試料の結晶構造を調べることができ、新物質・新材料開発につながっています。

バイオ分野における材料研究開発を支援する施設です。写真は装置群の内の一つで、マイクロX線CT装置です。実験用小動物 (マウス・ラット) の個体や摘出した臓器など、様々な形態の試料を撮影することができ、できるだけ少ない被ばく量で高い解像度のデータを非侵襲かつ経時的に取得・解析できます。また装置自体がシールドされているため、作業者が被ばくする心配がありません。

磁場の変化で磁性体の温度が変化する磁気熱量効果を用いて、水素を冷却して液化する装置です。大きな発熱を伴う電磁石の出力変化ではなく超伝導磁石内に磁性体を出し入れする方法を用いることで、電磁石の発熱を軽減し高効率な水素液化を実現しました。

炭化水素ガスと二酸化炭素ガスから高純度水素ガス (99.9999%<純度) を大容量製造 (100ℓ毎時) する装置です。製造時に二酸化炭素の大気排出を伴わない「クリーン水素」の社会実装に向けて、先進触媒材料と反応システムの研究開発に利用されています。