題目 : Realization of closed-loop optimization of epitaxial titanium nitride thin-film growth via machine learning
著者 : Isao Ohkubo (NIMS), Zhufeng Hou (NIMS), Jiyeon N. Lee (東京大学), Takashi Aizawa (NIMS), Mikk Lippmaa (東京大学), Toyohiro Chikyow (NIMS), Koji Tsuda (東京大学, NIMS), and Takao Mori (NIMS)
雑誌 : Materials Today Physics
掲載日時 : 2020年9月28日 オンライン
DOI :
10.1016/j.mtphys.2020.100296