優れた電流安定性で量産可能な高分解能電子顕微鏡用冷陰極点電子源の実現

~安定な構造のLaB6ナノニードルを開発~

2022.07.05

ナノニードル構造を持つLaB6冷陰極電界放出電子源の開発に成功しました。このエミッターはフラッシングの必要なく100時間以上の連続運転で減衰1%以下という長時間安定性を示しました。微細加工技術によって優れた量産性を示すことも大きな特徴です。この電子源を球面収差補正電子顕微鏡へ実装し、従来の電子源を凌駕する実用性の高い革新的電子源であることが実証されました。本成果は、Tang Shuai、唐捷、埋橋 淳、大久保 忠勝、竹口雅樹とJEOL、米国ノースカロライナ大学による共同研究の成果になります。
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論文情報

題目 A Stable LaB6 Nanoneedle Field-Emission Electron Source for Atomic Resolution Imaging with a Transmission Electron Microscope
掲載誌 Materials Today
掲載日時 2022年7月5日
DOI 10.1016/j.mattod.2022.06.003