第110回先端計測オープンセミナー
環状暗視野STEM像の定量計測手法の開発と結晶構造解析への応用
会場
国立研究開発法人 物質・材料研究機構
千現地区 研究本館8階 中セミナー室
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講演者
山下俊介 (先端材料解析研究拠点/原子構造物性分野/電子顕微鏡グループNIMSポスドク研究員)
表題
環状暗視野STEM像の定量計測手法の開発と結晶構造解析への応用
講演要旨
次走査透過電子顕微鏡法 (STEM) における環状暗視野 (ADF) 像は、原子番号を反映したコントラストを示し構造直視性に優れるため材料研究に広く用いられている。我々はADF像を用いた結晶構造解析の実現に向けて、ADF像を定量的に計測・解析する技術開発を進めている。
本講演では、我々が開発したADF像の定量計測手法の詳細[1]と、グラフェンを用いてADF像を定量的に計測・解析した結果について紹介する[2, 3]。また、定量的に解析することで明らかとなった現状の計測手法上の問題点についても紹介する。
[1] S. Yamashita et al., Microscopy 64 (2015) 143-150.
[2] S. Yamashita et al., Microscopy 64 (2015) 409-418.
[3] 山下俊介, 石塚和夫, 木本浩司, 顕微鏡 第51巻3号 (2016) 181-184