日本で唯一の共用開始! 走査型ヘリウムイオン顕微鏡
~超高分解能で観察・加工~

第12回 NIMSフォーラム ミニ講演発表内容 紹介 4

解説

日本にたった2台しかないヘリウムイオン顕微鏡がNIMSに導入されました。
共用装置としてみなさんにお使いいただくための配備です。

SEMと比較して圧倒的な高分解能で、
しかも超微細加工の出来るヘリウムイオン顕微鏡。
物質・材料やデバイス開発に威力を発揮します。

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