装置一覧
電子顕微鏡ユニットでサービスを提供する装置群は大きく分類して下記の通りとなります。このページでは、装置の種類ごとに分類して掲載しており、それぞれの装置のARIM/NOF/NIMS内部利用の対象有無を記載していますので、ご参考にしてください。
(走査)透過型電子顕微鏡((S/)TEM)
集束イオンビーム装置(FIB)および走査型電子顕微鏡(SEM)
特殊ホルダー
その他のTEM/SEM試料作製装置群
解析ソフトウェア
原子レベル、ナノスケールでの構造解析
装置 |
JEM-ARM200F-G (日本電子) |
JEM-ARM300F (日本電子) |
JEM-ARM200F-B (日本電子) |
Spectra Ultra (日本エフイーアイ) |
外観 |
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概要 |
実動環境対応物理分析電子顕微鏡 |
広空間・高分解能分析電子顕微鏡 |
実動環境対応型電子線ホログラフィー電子顕微鏡 |
原子レベル元素分布・構造解析用透過電子顕微鏡 |
区分 |
千現A |
千現B |
千現A |
千現A |
設置場所 |
千現地区 材料信頼性実験棟 118室 |
千現地区 先進構造材料研究棟 116室 |
千現地区 ファインプロセス実験棟 125室 |
千現地区 精密計測実験棟 127室 (操作室105室) |
ARIM |
○ |
× |
○ |
× |
NOF |
○ |
× |
○ |
× |
内部 |
○ |
○ |
○ |
○ |
Accel. Voltage |
200, 80 kV |
300, 200, 120, 80 kV |
200, 80, 60 kV |
300, 200, 60, 30 kV |
EDS |
Solid angle 0.26srad |
Dual Type (2×158mm2) |
Dual Type (Solid angle 1.96srad=2×0.98srad) |
Ultra-X (Max. 4.45srad) |
EELS |
GATAN Enfinium |
GATAN ContinuumER |
GATAN Quantum |
Gatan Continuum S |
その他 |
Electron holography / Tomography |
ASTAR Precession Diffraction |
Electron holography |
2024/7/1~ 運用開始 |
ライセンス |
A / B |
C |
A / B |
A / B |
装置 |
Talos F200X G2 (日本エフイーアイ) |
JEM-2800 (日本電子) |
JEM-2100F1 (日本電子) |
JEM-2100F2 (日本電子) |
外観 |
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概要 |
200kV透過電子顕微鏡 |
局所変形観察・解析電子顕微鏡 |
200kV 電界放出形透過電子顕微鏡 |
200kV 電界放出形透過電子顕微鏡 |
区分 |
並木 |
千現B |
千現A |
千現A |
設置場所 |
並木地区 WPI-MANA棟 W-102室 |
千現地区 先進構造材料研究棟 115室 |
千現地区 精密計測実験棟 126室 |
千現地区 精密計測実験棟 117室 |
ARIM |
× |
× |
○ |
○ |
NOF |
× |
○ |
○ |
○ |
内部 |
○ |
○ |
○ |
○ |
Accel. Voltage |
200, 80 kV |
200 kV |
200, 120, 100 kV |
200 kV |
EDS |
Super-X |
Dual Type (2×100mm2) |
Spot analysis and Elemental mapping |
Spot analysis and Elemental mapping |
EELS |
- |
GATAN QuantumER |
GATAN Enfina |
GATAN Enfina |
その他 |
Tomography |
ASTAR Precession Diffraction |
STEM: ADF and BF / Tomography |
STEM: ADF and BF |
ライセンス |
A / B |
C |
A / B |
A / B |
装置 |
JEM-2100 (日本電子) |
外観 |
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概要 |
200kV 透過電子顕微鏡 |
区分 |
千現A |
設置場所 |
千現地区 精密計測実験棟 119室 |
ARIM |
○ |
NOF |
○ |
内部 |
○ |
Accel. Voltage |
200, 160, 120, 100, 80 kV |
EDS |
Spot analysis |
EELS |
- |
その他 |
- |
ライセンス |
A / B |
TEM試料作製や微細加工、ミクロスケールでのSEM観察
装置 |
Helios 650 (日本エフイーアイ) |
NB5000 (日立ハイテク) |
JIB-4000 (日本電子) |
JEM-9320FIB (日本電子) |
JEM-9310FIB (日本電子) |
外観 |
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概要 |
FIB/SEM精密微細加工装置 |
デュアルビーム加工観察装置 |
FIB加工装置 |
FIB加工装置 |
FIB加工装置 |
区分 |
千現A |
千現A |
千現A |
千現A |
千現A |
設置場所 |
千現地区 精密計測実験棟 129室 |
千現地区 精密計測実験棟 129室 |
千現地区 精密計測実験棟 115室 |
千現地区 精密計測実験棟 115室 |
千現地区 精密計測実験棟 212室 |
ARIM |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
NOF |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
内部 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
ライセンス |
A / B |
A / B |
A / B |
A / B |
A / B |
装置 |
JSM-7000F (日本電子) |
Scios2 (日本エフイーアイ) |
AurigaLaser (カールツァイス) |
SMF-1000 (日立ハイテクサイエンス) |
JSM-7900F (日本電子) |
外観 |
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概要 |
走査型電子顕微鏡 |
TEM試料作製用集束イオンビーム加工装置 |
清浄表面組織観察FIB-SEM装置 |
微細組織三次元マルチスケール解析装置 |
走査型電子顕微鏡 |
区分 |
千現A |
千現B |
千現B |
千現B |
千現B |
設置場所 |
千現地区 精密計測実験棟 212室 |
千現地区 先進構造材料研究棟 108室 |
千現地区 先進構造材料研究棟 109室 |
千現地区 先進構造材料研究棟 109室 |
千現地区 先進構造材料研究棟 208室 |
ARIM |
○ |
× |
× |
○ |
× |
NOF |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
内部 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
ライセンス |
A / B |
C |
C |
C |
C |
装置 |
Ethos NX5000 (日立ハイテク) |
TM4000PlusII (日立ハイテク) |
外観 |
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概要 |
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置 |
卓上SEM |
区分 |
並木 |
並木 |
設置場所 |
並木地区 無振動特殊実験棟 107号室 |
並木地区 超高圧電子顕微鏡特殊実験棟 110室 |
ARIM |
○ |
○ |
NOF |
○ |
○ |
内部 |
○ |
○ |
ライセンス |
A / B |
A / B |
ホルダー |
Model 636 (Gatan) |
Lightning (DENSsolutions) |
Model 652 (Gatan) |
EM-21311HTR (JEOL) |
外観 |
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概要 |
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー / 冷却最低温度-150℃ |
2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー / 最高加熱温度1300℃、最高印可電圧100V(DC) |
試料加熱二軸傾斜試料ホルダー / 加熱最高温度1000℃ |
高傾斜試料台 / 傾斜角±70° |
設置場所 |
千現地区 精密計測実験棟 128室 |
千現地区 精密計測実験棟 128室 |
千現地区 精密計測実験棟 128室 |
千現地区 精密計測実験棟 128室 |
千現地区(
千現地区試料作製室(精密計測実験棟103室)の利用案内 )
自動精密切断機 ISOMET Low Speed Saw (Buehler)
精密イオン研磨装置 Model 691 PIPS (Gatan)
楔形研磨装置 Multiprep System (Allied)
精密機械研磨装置 Model 656 Dimple Grinder (Gatan)
イオンスライサー EM-09100IS (JEOL)
精密イオン研磨装置 Model 695 PIPS II (Gatan)
ウルトラミクロトーム EM UC6 (Leica)
ピックアップシステム Pick-up System
カーボンコーター Carbon coater JEC -560 (JEOL)
オスミウムコーター Osmium coater NL-OPC80A, HPC-1SW
白金コーター Platinum coater JFC-1600 (JEOL)
金コーター Au coater JFC-1500
ターボ式真空蒸着装置 High clean vacuum coater SVC-700
超音波ディスクカッター Ultrasonic Disc Cutter Model 601
精密コーティングシステム Model 682 (Gatan)
※真空蒸着装置の蒸着源はご持参ください。
並木地区
無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置 Model 1040 Nanomill (Fischione)
精密イオン研磨装置 Model 695 PIPS II (Gatan)
精密機械研磨装置 Model 656 Dimple Grinder (Gatan)
マルチコーター VES-30T (真空デバイス)
卓上研磨機 ML-180 DoctorLap (マルトー)
小型精密切断器 MS2 MICROSAW (TECHNOORG-LINDA)
ソフト |
HRTEM解析システム |
電子線トモグラフィー解析システム |
DPC解析システム |
外観 |
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概要 |
結晶モデリング、HRTEM画像および電子線回折計算などの解析ツール |
3次元画像データ解析ツール |
4D-STEMによる電場・磁場構造の解析ツール |
設置場所 |
千現地区 精密計測実験棟 106室 |
千現地区 精密計測実験棟 106室 |
千現地区 精密計測実験棟 106室 |
備考 |
※ARIM対象外 |
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※ARIM対象外 |