電子顕微鏡ユニット

原子レベル元素分布・構造解析用透過電子顕微鏡
Cs corrected Scanning Transmission Electron Microscope

Spectra Ultra S/TEM (Thermo Fisher Scientific)

千現地区 精密計測実験棟 127&105室 / Sengen-site, Physical Analysis Lab. #127&105


4.45 sradのEDS立体角(分析用二軸傾斜ホルダーでは4.04 sradの立体角)を有するUltra-X検出器を搭載し、加速電圧の切り替え能力により5分以内でレンズと試料ステージを安定状態にできるため、1セッションのなかで材料や観察目的に応じた最適な加速電圧でのS/TEM観察が可能です。

The SpectraUltra system can be operated at different voltages (30 ~ 300 kV) in a single microscopy session, and has a 4.45 srad EDS solid angle (4.04 srad solid angle with an analytical double tilt holder).


Specifications
Acc. Voltage 300, 200, 60, 30 kV
Corrector Cs probe corrector S-CORR
EDS Ultra-X (Max. 4.45srad)
EELS Gatan Continuum S/1077 30-300 kV
STEM detector 16-segmented Panther STEM detector (BF/DF/HAADF)
DPC/iDPC imaging function
Bottom mount camera: Ceta-S camera (CMOS 4k×4k), 40 fps at 4k×4k
Images
ネオジム磁石粒界のHAADF-STEM像とEDS元素マップ
HAADF-STEM image and EDS elemental map of the grain boundary in Nd2Fe14B permanent magnet