深紫外レーザーアトムプローブ装置
Deep UV laser-assisted 3D atom probe
Invizo6000 (CAMECA)
3次元アトムプローブ（APT: atom probe tomography, or 3DAP; three-dimentional atom probe）は、電子顕微鏡では分析困難な軽元素を含む全ての元素について個々の原子の同定と位置決定ができるユニークな分析装置で、さまざまな材料やデバイス中の元素分布の3次元解析に威力を発揮します。Invizo6000は深紫外域（Deep UV）のレーザーパルスを用いることで定量性やデータ取得成功率の向上に加えて、新設計フライトパスにより従来よりも広領域からの3次元データの取得が可能となっています。
Atom probe tomography (APT, or 3DAP; three-dimentional atom probe) is the only technique that can visualize the three-dimensional distribution of atoms in materials with nearly atomic spatial resolution and high chemical sensitivity. The "Invizo6000" has an ultra wide field of view owing to new designed flight path and dual-beam deep UV laser pulse system, allowing in a greater analysis volume.
Reservation & Users Policy
Book by the day.
* The users should make reservations via Google Calendar (max. 24 hrs, up to two sessions).
* On beharf of you, the staff will put your resevations onto "NIMS Equipments Management System".
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外部の方々へ
成果非公開を前提としたアトムプローブ装置の依頼分析は引き受けておりません。なお、成果公開（論文発表）を前提としたNIMS研究者との共同研究を通じてのご活用は可能です。
不明点やご相談につきましては下記担当スタッフに連絡いただければ回答させて頂きます。
Textbooks for Atom Probe Tomography
