深紫外レーザーアトムプローブ装置
Deep UV laser-assisted 3D atom probe
Invizo6000 (CAMECA)
3次元アトムプローブ（APT: atom probe tomography, or 3DAP; three-dimentional atom probe）は、電子顕微鏡では分析困難な軽元素を含む全ての元素について個々の原子の同定と位置決定ができるユニークな分析装置で、さまざまな材料やデバイス中の元素分布の3次元解析に威力を発揮します。Invizo6000は深紫外域（Deep UV）のレーザーパルスを用いることで定量性やデータ取得成功率の向上に加えて、新設計フライトパスにより従来よりも広領域からの3次元データの取得が可能となっています。
Atom probe tomography (APT, or 3DAP; three-dimentional atom probe) is the only technique that can visualize the three-dimensional distribution of atoms in materials. Although the volume size that can be analyzed is limited to the nanoscale, the technique has a high spatial resolution close to atomic resolution and high chemical sensitivity with quantitative analytical capability.
