電子顕微鏡解析ステーション ナノ構造解析グループ

施設・装置Facilities

走査電子顕微鏡(JSM-7000F)Field Emission Scanning Electron Microscope

[設置部屋] 千現地区 精密計測実験棟212室/Location: Room212, Physical Analysis Laboratories Building
[メーカー] 日本電子/Maker: JEOL Ltd.

サーマルFEG (field emission gun)を装備した走査電子顕微鏡です。 EDSシステムを装備しており、元素分析や元素マップを得ることができます。試料サイズ、材質の制約が少なく、汎用性の高い装置です。

This scanning electron microscope (SEM) is equipped with a thermal FEG(field emission gun). EDS for elemental analysis and mapping is possible. Various sample sizes and various kinds of materials are acceptable.

JSM-7000F
jsm-7000F_image

血球のSEM像
SEM image of blood cells.


Specifications
Electron gun Schottky type field emission gun
Acc. Voltage 30 kV
Max. Current 200nA
Resolution 1.2nm (30kV), 3.0nm (1kV)
Magnification ×10~500,000
Specimen holder 12.5mmø、26mmø
Attachments
Energy Dispersive X-ray spectroscopy (JED-2200)

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