施設・装置Facilities

千現地区 技術代行TEM 試料作製施設 TEM sample prep. equipment for “Technical Surrogate”

[設置部屋] 千現地区 精密計測実験棟108室/Location: Room108, Physical Analysis Laboratories Building
※技術代行でのみ利用可。ナノテクノロジープラットフォーム支援事業課題を優先します。
※We give priority to users from the Nanotechnology platform program.

切断、機械研磨、イオン研磨、化学機械研磨（CMP）、包埋、染色処理等。貼り合わせ断面試料、平面試料、ダメージレスくさび形試料、低温低加速イオン研磨試料、生体材料試料、高分子材料試料など、ご要望に応じた試料作製が可能です。

There are apparatus for cutting, mechanical polishing, chemical-mechanical polishing (CMP), embedding, staining, etc. cross-sections, damage-free wedges, low temperature and low energy ion milled and biological samples can be prepared.