微細加工分野 Nanofabrication Field
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-661.jpg)
電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
EB Lithography [JBX-8100FS]3>
微細加工(リソグラフィ)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-601.jpg)
電子ビーム描画装置 [ELS-F125]
EB Lithography [ELS-F125]3>
微細加工(リソグラフィ)
高速高精細ナノパターニング
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-635.jpg)
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
EB Lithography [ELS-BODEN100]3>
微細加工(リソグラフィ)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-603.jpg)
レーザー描画装置 [DWL66+]
Laser Lithography [DWL66+]3>
サブミクロン以上の任意パターン形成
3次元パターン造形
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-636.jpg)
マスクレス露光装置 [DL-1000]
Maskless Lithography [DL-1000]3>
微細加工(リソグラフィ)
マスクレスマイクロパターニング
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-604.jpg)
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
Maskless Lithography [DL-1000/NC2P]3>
微細加工(リソグラフィ)
高速マスクレスパターニング
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-660.jpg)
マスクレス露光装置 [MLA150]
Maskless Lithography [MLA 150]3>
微細加工(リソグラフィ)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-637.jpg)
マスクアライナー [MA-6]
Mask Aligner [MA-6]3>
微細加工(リソグラフィ)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-605.jpg)
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]
H2O Plasma Cleaner [AQ-500 #1]3>
金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄
レジストアッシング、親水化処理
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-638.jpg)
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]
H2O Plasma Cleaner [AQ-500 #2]3>
金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄
レジストアッシング、親水化処理
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-606.jpg)
UVオゾンクリーナー [UV-1]
UV Ozone Cleaner [UV-1]3>
基板洗浄、表面改質
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-608.jpg)
スパッタ装置 [JSP-8000]
Sputter [JSP-8000]3>
微細加工(成膜)
金属・絶縁薄膜形成
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-607.jpg)
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]
Sputter [CFS-4EP-LL #3]3>
微細加工(成膜)
金属・絶縁薄膜形成
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-610.jpg)
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
EB Evaporator [RDEB-1206K]3>
微細加工(成膜)
リフトオフ向け金属薄膜形成
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-609.jpg)
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
EB Evaporator [ADS-E86]3>
リフトオフ向け自動金属薄膜形成
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-644.jpg)
原子層堆積装置 [SUNALE R-150]
ALD [SUNALE R-150]3>
微細加工(成膜)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-611.jpg)
原子層堆積装置 [AD-230LP]
LD [AD-230LP]3>
絶縁膜・パッシベーション膜形成
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-633.jpg)
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
SiO2 PECVD [PD-220NL]3>
微細加工(成膜)
高品質SiO2薄膜形成
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-612.jpg)
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]
SiN PECVD [PD-220NL]3>
微細加工(成膜)
高品質SiO2薄膜形成
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-613.jpg)
リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
Auto Lift-Off [KLO-150CBU]3>
微細加工(成膜)
リフトオフ、レジスト剥離
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-614.jpg)
CCP-RIE装置 [RIE-200NL]
CCP-RIE [RIE-200NL]3>
微細加工(エッチング)
多種材料のドライエッチング
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-615.jpg)
ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]
ICP-RIE [RIE-101iPH]3>
微細加工(エッチング)
化合物半導体・金属薄膜のドライエッチング
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-617.jpg)
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
ICP-RIE [RV-APS-SE]3>
微細加工(エッチング)
SiC、SiN、SiO2や各種酸化膜の高速エッチング
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-645.jpg)
ICP-RIE装置 [CE300I]
ICP-RIE [CE300I]3>
微細加工(エッチング)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-616.jpg)
シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]
Si Deep RIE [ASE-SRE]3>
微細加工(エッチング)
MEMS等、シリコン深堀エッチング
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-618.jpg)
原子層エッチング装置
[PlasmaPro 100 ALE]
ALE [PlasmaPro 100 ALE]3>
半導体材料等の原子層エッチング
金属・半導体材料等のICPエッチング
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-662.jpg)
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica]
ICP-RIE [Spica]3>
酸化膜、窒化膜などの精密エッチング
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-646.jpg)
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]
RTA [RTP-6 #1]3>
微細加工(熱処理)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-619.jpg)
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2]
RTA [RTP-6 #2]3>
小片~φ6インチの急速アニール
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-634.jpg)
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]
RTA [RTP-6 #3]3>
小片~φ6インチの急速アニール
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-621.jpg)
FE-SEM [S-4800]3>
微細加工(評価・計測)
ナノ加工・構造・材料の観察・計測
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-647.jpg)
FE-SEM+EDX [S-4800]3>
微細構造の観察および分析
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-648.jpg)
FE-SEM+EDX [SU8000]3>
微細構造の観察および分析
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-649.jpg)
FE-SEM+EDX [SU8230]3>
微細加工(評価・計測)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-650.jpg)
卓上電子顕微鏡 [TM3000]
Tabletop SEM+EDX [TM3000]3>
微細構造の観察および分析
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-622.jpg)
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
SPM [Jupiter XR]3>
ナノ構造の計測・評価
材料の観察・特性評価
ナノレベルの粗さ・段差測定
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-651.jpg)
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]
SPM [L-trace]3>
微細加工(評価・計測)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-652.jpg)
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5]
SPM [Nanoscope5]3>
微細構造の観察
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-623.jpg)
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]
Laser Microscope [LEXT OLS4000]3>
非接触3次元形状観察・計測
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-626.jpg)
触針式プロファイラー [Dektak XT-A]
Surface Profilometer [Dektak XT-A]3>
触針による表面形状計測
段差測定、粗さ測定、3Dマッピング、ストレス測定
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-654.jpg)
触針式プロファイラー [Dektak 6M]
Surface Profilometer [Dektak 6M]3>
微細加工(評価・計測)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-655.jpg)
分光エリプソメーター [M2000]
Spectroscopic Ellipsometer [M2000]3>
微細加工(評価・計測)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-629.jpg)
ダイシングソー [DAD322]
Dicing Saw [DAD322]3>
微細加工(切削・研磨)
シリコン/石英/サファイア基板の小片化
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-656.jpg)
ダイシングソー [DAD3220]
Dicing Saw [DAD3220]3>
微細加工(切削・研磨)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-630.jpg)
室温プローバー [MX-200/B]
Room Temp. Prober [MX-200/B]3>
微細加工(電気測定)
I-V/C-V特性評価
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-657.jpg)
室温プローバー [HMP-400]
Room Temp. Prober [HMP-400]3>
微細加工(電気測定)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-659.jpg)
ワイヤーボンダー [7476D #1]
Wire Bonder [7476D #1]3>
微細加工(電気測定)
![](/arim/facilities/iuljh600000000p6-img/NM-632.jpg)
ワイヤーボンダー [7476D #2]
Wire Bonder [7476D #2]3>
微細加工(電気測定)
チップキャリアへのボンディング