微細加工分野(千現地区)

125kV電子ビーム描画装置

高精細ナノパターニング

100kV電子ビーム描画装置

高精細ナノパターニング

高速マスクレス露光装置

高速マスクレスパターニング

水蒸気プラズマ洗浄装置

洗浄・還元・灰化・接合・親水化

UVオゾンクリーナー

基板クリーニング、表面改質

多元スパッタ装置 (i-Miller)

金属・絶縁薄膜形成

全自動スパッタ装置

金属・絶縁薄膜形成

6連自動蒸着装置

自動金属薄膜形成

12連電子銃型蒸着装置

リフトオフ向け金属薄膜形成

多機能型原子層堆積装置

多種ALD薄膜形成

プラズマCVD装置

PECVDによるSiO2, SiNの薄膜形成

高圧ジェットリフトオフ装置

リフトオフ、レジスト剥離

多目的ドライエッチング装置

多種材料のドライエッチング

化合物ドライエッチング装置

化合物半導体・金属薄膜のドライエッチング

シリコン深掘りエッチング装置

MEMS等、シリコン深堀エッチング

酸化膜ドライエッチング装置

SiC、SiN、SiO2等の高速エッチング

ICP原子層エッチング装置

先端的ドライエッチング

赤外線ランプ加熱装置

多目的熱処理プロセス

ウエハRTA装置

小片~φ6インチの急速アニール

走査電子顕微鏡

ナノ加工・構造・材料の観察・計測

高速広域走査型プローブ顕微鏡

ナノ構造の計測・評価

3次元測定レーザー顕微鏡

非接触3次元形状観察・計測

イオンスパッタ

SEM、FIB-SEMの前処理

薄膜応力測定装置

薄膜応力測定

ダイシングソー

各種基板の小片化

液体窒素プローバー

77K台から500KまでのI-V特性評価

ワイヤーボンダー

チップキャリアへのボンディング

微細加工分野(千現地区)

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