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National Institute for Materials Science
NIMS Open Facility
ARIM Japan
NIMS-ARIMパンフレット
データ登録パンフレット
データ利用パンフレット

分野別装置一覧　Equipment List by Field

バイオ分析分野：千現地区　Bioanalysis Field：Sengen-Site　　　　　　　　　　　　　　お問い合わせ：SML-office[at]nims.go.jp

NMR
LC-MS（Q-Exactive Plus, Orbitrap Exploris 480）
ラマン顕微鏡　Raman microscope
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡　Confocal laser scanning fluorescence microscope
液中原子間力顕微鏡　Atomic force microscope (AFM) in liquid
卓上走査型電子顕微鏡装置群　Tabletop scanning electron microscope (SEM)
表面プラズモン共鳴装置　Surface plasmon resonance (SPR) instrument
プレートリーダー　Plate reader
分光光度計　Spectrophotometer
分光蛍光光度計　Fluorescence spectrophotometer
フーリエ変換赤外分光光度計　FT-IR
円二色性分散計　Circular dichroism (CD)
ゼータ電位計　Zeta potential analyzer
動的光散乱光度計　Dynamic light scattering (DLS) spectrophotometer
粒度分布測定装置　Particle size analyzer
接触角計　Contact angle meter
テクスチャーアナライザー　Texture analyzer
HPLC(質量分析計付き)　HPLC with MS
ゲル浸透クロマトグラフィー装置群　Gel permeation chromatography (GPC)

NMR分野：桜地区　NMR Field：Sakura-site　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　お問い合わせ：nmr-st[at]ml.nims.go.jp

500MHz固体汎用NMRシステム　500 MHz Solid-State NMR (Ⅰ)
500MHz固体高分解能NMRシステム　500 MHz Solid-State NMR (Ⅱ)
800MHzナローボア固体高分解能NMRシステム　800MHz solid-state high-resolution NMR

表面・バルク分析分野　Surface and Bulk Analysis Field　　　　　　　　　　　　　　　　お問い合わせ：analysis[at]nims.go.jp

多環境場対応型X線単結晶構造解析装置　Single Crystal X-ray Diffractometer for Multiple Environments
2波長Pilatus低温単結晶X線回折装置_NSC　sXRD_R_DW_LT_Pilatus_NSC
多目的X線回折装置_Cu_SSL　pXRD_ Multi_Cu_R_SSL
温度可変型粉末X線回折装置_Cu1_NTS　pXRD_LT/HT_Cu1_R_NTS
高速・高感度型粉末X線回折装置_Cu_ASC_NS3　pXRD_Cu_ASC_NS3
卓上型粉末回折計_Cu_ASC_NC1　pXRD_Cu_ASC_NC1
卓上型粉末回折計_Cu_ASC_NC2　pXRD_Cu_ASC_NC2
卓上型粉末回折計_Cr_SCR　pXRD_Cr_SCR
卓上型X線回折計_Cu_SMF　pXRD_Cu_SMF
薄膜X線回折装置_Cu　TF_XRD_Cu
微小部蛍光X線分析装置（ORBIS PC）　Micro Energy Dispersive X-ray Fluorescence Spectrometer（Micro-EDXRF)
硬X線光電子分光分析装置（HAX-PES/XPS）　HAX-PES/XPS
X線光電子分光分析装置（XPS-Quantera SXM）　XPS (Quantera SXM)
誘導結合プラズマ発光分析装置群　Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometers / Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometers
マルチガス導入グロー放電質量分析システム（VG9000）　Glow Discharge Mass Spectrometer (GD-MS)
飛行時間型二次イオン質量分析装置　Time-of-flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS)
イオンクロマトグラフシステム　Ion chromatography
酸素窒素水素分析装置、炭素硫黄分析装置　Oxygen/Nitrogen/Hydrogen Analyzer Carbon/Sulfur Analyzer
熱分析装置（TG/DTA＋DSC）　TG/DTA＋DSC
ゼータ電位＆粒径測定装置（ELSZ-2000ZS）　Zeta-potential/Particle-size analyzer (ELSZ-2000ZS)
フーリエ変換赤外分光光度計（IRAffinity-1S）　FT-IR (IRAffinity-1s)
紫外可視近赤外分光計（V-770）　UV-Vis-NIR (V-770)
分光蛍光光度計（FP-8500DS）Spectrofluorometer (FP-8500DS)
蛍光分光計（Fluorolog-3）Spectrofluorometer (Fluorolog-3)
フーリエ変換赤外分光計（FT/IR-6700）Fourier transform infrared spectrometer (FT/IR-6700)
中低温示差熱分析装置（DSC200F3）Medium- and low-temperature differential thermal analyzer(DSC200F3)
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置　Field Emission Electron Probe Micro-Analyzer (FE-EPMA)
走査型オージェ電子分光分析装置　Scanning Auger Electron Microprobe (CHA Type AES)
ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡（JSM-7001F）Schottky FE-SEM (JSM-7001F)
電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000）FE-SEM (SU-8000)
電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F）
走査電子顕微鏡（JSM-6510）

TEM分野：並木地区　TEM Field：Namiki-site　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　お問い合わせ：tem[at]nims.go.jp

TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置　FIB-SEM combined apparatus for automatic preparation of TEM specimens
無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置　Damage-less TEM specimen milling apparatus
セラミックス試料作製装置群　Ceramics sample preparation facilities

TEM分野：千現地区　TEM Field：Sengen-site　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　お問い合わせ：tem[at]nims.go.jp

実動環境対応物理分析電子顕微鏡　Real working environment physical characterization TEM
実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡　Real working environmental electron holography microscope
200kV電界放出形透過電子顕微鏡　200kV field emission transmission electron microscope
200kV透過電子顕微鏡　200kV transmission electron microscope
2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー　Double-tilt bias and heating TEM holder
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー　Double-tilt LN2 cryo TEM holder
走査型電子顕微鏡　Field emission scanning electron microscope
微細組織3次元マルチスケール解析装置　Orthogonal FIB-SEM
FIB/SEM精密微細加工装置（Helios 650）　FIB/SEM microfabrication instrument
デュアルビーム加工観察装置　Dual Beam system
FIB加工装置（JIB-4000, JEM-9320FIB, JEM-9310FIB）　Focused Ion Beam systems
ピックアップシステム　Pick-up System
ウルトラミクロトーム　Ultramicrotome
電子線トモグラフィー解析システム　Electron tomography analysis system
TEM試料作製装置群　TEM sample preparation apparatus

微細加工分野　Nanofabrication Field　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　お問い合わせ：nanofab-admin[at]ml.nims.go.jp

電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]　EB Lithography [JBX-8100FS]
電子ビーム描画装置 [ELS-F125]　EB Lithography [ELS-F125]
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]　EB Lithography [ELS-BODEN100]
レーザー描画装置 [DWL66+]　Laser Lithography [DWL66+]
マスクレス露光装置 [DL-1000]　Maskless Lithography [DL-1000]
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]　Maskless Lithography [DL-1000/NC2P]
マスクレス露光装置 [MLA150]　Maskless Lithography [MLA 150]
マスクアライナー [MA-6]　Mask Aligner [MA-6]
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]　H2O Plasma Cleaner [AQ-500 #1]
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]　H2O Plasma Cleaner [AQ-500 #2]
UVオゾンクリーナー [UV-1]　UV Ozone Cleaner [UV-1]
スパッタ装置 [JSP-8000]　Sputter [JSP-8000]
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]　Sputter [CFS-4EP-LL #2]
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]　Sputter [CFS-4EP-LL #3]
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #4]　Sputter [CFS-4EP-LL #4]
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]　EB Evaporator [RDEB-1206K]
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]　EB Evaporator [ADS-E86]
電子銃型蒸着装置 [MB-501010]　EB Evaporator [MB-501010]
電子銃型蒸着装置 [ADS-E810]EB Evaporator [ADS-E810]
原子層堆積装置 [SUNALE R-150]　ALD [SUNALE R-150]
原子層堆積装置 [AD-230LP]　ALD [AD-230LP]
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]　SiO2 PECVD [PD-220NL]
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]　SiN PECVD [PD-220NL]
リフトオフ装置 [KLO-150CBU]　Auto Lift-Off [KLO-150CBU]
CCP-RIE装置 [RIE-200NL]　CCP-RIE [RIE-200NL]
ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]　ICP-RIE [RIE-101iPH]
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]　ICP-RIE [RV-APS-SE]
ICP-RIE装置 [CE300I]　ICP-RIE [CE300I]
シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]　Si Deep RIE [ASE-SRE]
原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]　ALE [PlasmaPro 100 ALE]
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica]　ICP-RIE [Spica]
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]　RTA [RTP-6 #1]
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2]　RTA [RTP-6 #2]
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]　RTA [RTP-6 #3]
FE-SEM [S-4800]
FE-SEM+EDX [S-4800]
FE-SEM+EDX [SU8000]
FE-SEM+EDX [SU8230]
卓上電子顕微鏡 [TM3000]　Tabletop SEM+EDX [TM3000]
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]　SPM [Jupiter XR]
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]　SPM [L-trace]
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5]　SPM [Nanoscope5]
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]　Laser Microscope [LEXT OLS4000]
レーザー顕微鏡 [VK-9700]　Laser Microscope [VK-9700]
触針式プロファイラー [Dektak XT-A]　Surface Profilometer [Dektak XT-A]
触針式プロファイラー [Dektak 6M]　Surface Profilometer [Dektak 6M]
エリプソメーター [MARY-102FM]　Ellipsometer [MARY-102FM]
分光エリプソメーター [M2000]　Spectroscopic Ellipsometer [M2000]
分光エリプソメーター [UNECS-2000A]
顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]　Optical Film Mapper [F54-XY-200-UV]
薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]　Thin-Film Stress Tester [FLX-2000-A]
ダイシングソー [DAD322]　Dicing Saw [DAD322]
ダイシングソー [DAD3220]　Dicing Saw [DAD3220]
室温プローバー [MX-200/B]　Room Temp. Prober [MX-200/B]
室温プローバー [HMP-400]　Room Temp. Prober [HMP-400]
低温プローバー [GRAIL-408-32-B]　Low Temp. Prober [GRAIL-408-32-B]
液体窒素プローバー [SB-LN2]　Liquid N2 Prober [SB-LN2]
ワイヤーボンダー [7476D #1]　Wire Bonder [7476D #1]
ワイヤーボンダー [7476D #2]　Wire Bonder [7476D #2]
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