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National Institute for Materials Science
NIMS Open Facility
ARIM Japan

分野別装置一覧　Equipment List by Field

材料評価分野（千現地区）　Materials Evaluation Field（Sengen-Site）

NMR
LC-MS
ラマン顕微鏡　Raman microscope
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡　Confocal laser scanning fluorescence microscope
液中原子間力顕微鏡　Atomic force microscope (AFM) in liquid
卓上走査型電子顕微鏡装置群　Tabletop scanning electron microscope (SEM)
表面プラズモン共鳴装置　Surface plasmon resonance (SPR) instrument
プレートリーダー　Plate reader
分光光度計　Spectrophotometer
分光蛍光光度計　Fluorescence spectrophotometer
フーリエ変換赤外分光光度計　FT-IR
円二色性分散計　Circular dichroism (CD)
ゼータ電位計　Zeta potential analyzer
動的光散乱光度計　Dynamic light scattering (DLS) spectrophotometer
粒度分布測定装置　Particle size analyzer
接触角計　Contact angle meter
テクスチャーアナライザー　Texture analyzer
HPLC(質量分析計付き)　HPLC with MS
ゲル浸透クロマトグラフィー装置群　Gel permeation chromatography (GPC)

NMR分野（桜地区）　NMR Field（Sakura-site）

500MHz固体汎用NMRシステム　500 MHz Solid-State NMR (Ⅰ)
500MHz固体高分解能NMRシステム　500 MHz Solid-State NMR (Ⅱ)
800MHzワイドボア固体高分解能NMRシステム　800 MHz wide bore Solid-State NMR

材料分析分野　Materials Analysis Field

多環境場対応型X線単結晶構造解析装置　Single Crystal X-ray Diffractometer for Multiple Environments
走査型デュアルＸ線光電子分光分析装置 (HAX-PES/XPS)　Dual Scanning X-ray Photoelectron Microprobe Equipped with Hard X-Ray (HAX-PES/XPS)
誘導結合プラズマ発光分析装置群　Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometers / Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometers
高輝度・高感度型粉末X線回折装置　High-power and high-sensitivity type powder X-ray diffractometer
飛行時間型二次イオン質量分析装置　Time-of-flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS)
酸素窒素水素分析装置、炭素硫黄分析装置　Oxygen/Nitrogen/Hydrogen Analyzer Carbon/Sulfer Analyzer
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置　Field Emission Electron Probe Micro-Analyzer (FE-EPMA)
走査型オージェ電子分光分析装置　Scanning Auger Electron Microprobe (CHA Type AES)

３D分野（千現地区）　3D Field（Sengen-site）

広空間・高分解能分析電子顕微鏡　Analytical transmission electron microscope
微細組織3次元マルチスケール解析装置　Orthogonal FIB-SEM

TEM分野（並木地区）　TEM Field（Namiki-site）

300kV収差補正電子顕微鏡　Analytical apparatus for electron beam sensitive materials
単原子分析電子顕微鏡　Atomic-resolution analytical electron microscope
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置　FIB-SEM combined apparatus for automatic preparation of TEM specimens
無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置　Damage-less TEM specimen milling apparatus
セラミックス試料作製装置群　Ceramics sample preparation facilities
200kV透過電子顕微鏡　200kV transmission electron microscope

TEM分野（千現地区）　TEM Field（Sengen-site）

実動環境対応物理分析電子顕微鏡　Real working environment physical characterization TEM
実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡　Real working environmental electron holography microscope
200kV電界放出形透過電子顕微鏡　200kV field emission transmission electron microscope
200kV透過電子顕微鏡　200kV transmission electron microscope
2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー　Double-tilt bias and heating TEM holder
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー　Double-tilt LN2 cryo TEM holder
走査型電子顕微鏡　Field emission scanning electron microscope
デュアルビーム加工観察装置　Dual Beam system
FIB加工装置群　Focused Ion Beam systems
ピックアップシステム　Pick-up System
ウルトラミクロトーム　Ultramicrotome
電子線トモグラフィー解析システム　Electron tomography analysis system
TEM試料作製装置群　TEM sample preparation apparatus

微細加工分野　Nanofabrication Field

電子ビーム描画装置 [ELS-F125]　EB Lithography [ELS-F125]
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]　EB Lithography [ELS-BODEN100]
レーザー描画装置 [DWL66+]　Laser Lithography [DWL66+]
マスクレス露光装置 [DL-1000]　Maskless Lithography [DL-1000]
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]　Maskless Lithography [DL-1000/NC2P]
マスクレス露光装置 [MLA150]　Maskless Lithography [MLA 150]
マスクアライナー [MA-6]　Mask Aligner [MA-6]
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]　H2O Plasma Cleaner [AQ-500 #1]
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]　H2O Plasma Cleaner [AQ-500 #2]
UVオゾンクリーナー [UV-1]　UV Ozone Cleaner [UV-1]
スパッタ装置 [JSP-8000]　Sputter [JSP-8000]
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #1]　Sputter [CFS-4EP-LL #1]
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]　Sputter [CFS-4EP-LL #2]
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]　Sputter [CFS-4EP-LL #3]
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]　EB Evaporator [RDEB-1206K]
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]　EB Evaporator [ADS-E86]
電子銃型蒸着装置 [MB-501010]　EB Evaporator [MB-501010]
電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS]　EB Evaporator [UEP-3000BS]
原子層堆積装置 [SUNALE R-150]　ALD [SUNALE R-150]
原子層堆積装置 [AD-230LP]　ALD [AD-230LP]
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]　SiO2 PECVD [PD-220NL]
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]　SiN PECVD [PD-220NL]
リフトオフ装置 [KLO-150CBU]　Auto Lift-Off [KLO-150CBU]
CCP-RIE装置 [RIE-200NL]　CCP-RIE [RIE-200NL]
ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]　ICP-RIE [RIE-101iPH]
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]　ICP-RIE [RV-APS-SE]
ICP-RIE装置 [CE300I]　ICP-RIE [CE300I]
シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]　Si Deep RIE [ASE-SRE]
原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]　ALE [PlasmaPro 100 ALE]
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]　RTA [RTP-6 #1]
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2]　RTA [RTP-6 #2]
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]　RTA [RTP-6 #3]
FE-SEM [S-4800]
FE-SEM+EDX [S-4800]
FE-SEM+EDX [SU8000]
FE-SEM+EDX [SU8230]
卓上電子顕微鏡 [TM3000]　Tabletop SEM+EDX [TM3000]
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]　SPM [Jupiter XR]
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]　SPM [L-trace]
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5]　SPM [Nanoscope5]
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]　Laser Microscope [LEXT OLS4000]
レーザー顕微鏡 [VK-9700]　Laser Microscope [VK-9700]
イオンスパッタ [E-1045]　Ion Sputter [E-1045]
触針式プロファイラー [Dektak XT-A]　Surface Profilometer [Dektak XT-A]
触針式プロファイラー [Dektak 6M]　Surface Profilometer [Dektak 6M]
エリプソメーター [MARY-102FM]　Ellipsometer [MARY-102FM]
分光エリプソメーター [M2000]　Spectroscopic Ellipsometer [M2000]
顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]　Optical Film Mapper [F54-XY-200-UV]
薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]　Thin-Film Stress Tester [FLX-2000-A]
ダイシングソー [DAD322]　Dicing Saw [DAD322]
ダイシングソー [DAD3220]　Dicing Saw [DAD3220]
室温プローバー [MX-200/B]　Room Temp. Prober [MX-200/B]
室温プローバー [HMP-400]　Room Temp. Prober [HMP-400]
低温プローバー [GRAIL-408-32-B]　Low Temp. Prober [GRAIL-408-32-B]
液体窒素プローバー [SB-LN2]　Liquid N2 Prober [SB-LN2]
ワイヤーボンダー [7476D #1]　Wire Bonder [7476D #1]
ワイヤーボンダー [7476D #2]　Wire Bonder [7476D #2]
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