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National Institute for Materials Science
NIMS Open Facility
ARIM Japan

分野別装置一覧

材料評価分野（千現地区）

NMR
LC-MS
ラマン顕微鏡
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡
液中原子間力顕微鏡
卓上走査型電子顕微鏡装置群
表面プラズモン共鳴装置
プレートリーダー
分光光度計
分光蛍光光度計
フーリエ変換赤外分光光度計
円二色性分散計
ゼータ電位計
動的光散乱光度計
粒度分布測定装置
接触角計
テクスチャーアナライザー
HPLC(質量分析計付き)
ゲル浸透クロマトグラフィー装置群

NMR分野（桜地区）

500MHz固体汎用NMRシステム
500MHz固体高分解能NMRシステム
800MHzワイドボア固体高分解能NMRシステム

材料分析分野

多環境場対応型X線単結晶構造解析装置 （XtaLAB Synergy-R/DW Custom）
走査型デュアルＸ線光電子分光分析装置 (HAX-PES/XPS)
誘導結合プラズマ発光分析装置(マルチ型）
高輝度・高感度型粉末X線回折装置
飛行時間型二次イオン質量分析装置
酸素窒素水素分析装置、炭素硫黄分析装置
電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置
走査型オージェ電子分光分析装置

３D分野（千現地区）

広空間・高分解能分析電子顕微鏡
微細組織3次元マルチスケール解析装置

TEM分野（並木地区）

300kV収差補正電子顕微鏡
単原子分析電子顕微鏡
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置
無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置
セラミックス試料作製装置群
200kV透過電子顕微鏡

TEM分野（千現地区）

実動環境対応物理分析電子顕微鏡
実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡
200kV電界放出形透過電子顕微鏡
200kV透過電子顕微鏡
2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー
走査型電子顕微鏡
デュアルビーム加工観察装置
FIB加工装置群
ピックアップシステム
ウルトラミクロトーム
電子線トモグラフィー解析システム
TEM試料作製装置群

微細加工分野

電子ビーム描画装置 [ELS-F125]
電子ビーム描画装置 [ELS-BODEN100]
レーザー描画装置 [DWL66+]
マスクレス露光装置 [DL-1000]
マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
マスクレス露光装置 [MLA150]
マスクアライナー [MA-6]
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #2]
UVオゾンクリーナー [UV-1]
スパッタ装置 [JSP-8000]
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #1]
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #2]
スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #3]
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
電子銃型蒸着装置 [MB-501010]
電子銃型蒸着装置 [UEP-3000BS]
原子層堆積装置 [SUNALE R-150]
原子層堆積装置 [AD-230LP]
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]
リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
CCP-RIE装置 [RIE-200NL]
ICP-RIE装置 [RIE-101iPH]
ICP-RIE装置 [RV-APS-SE]
ICP-RIE装置 [CE300I]
シリコンDRIE装置 [ASE-SRE]
原子層エッチング装置 [PlasmaPro 100 ALE]
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #2]
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]
FE-SEM [S-4800]
FE-SEM+EDX [S-4800]
FE-SEM+EDX [SU8000]
FE-SEM+EDX [SU8230]
卓上電子顕微鏡 [TM3000]
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5]
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]
レーザー顕微鏡 [VK-9700]
イオンスパッタ [E-1045]
触針式プロファイラー [Dektak XT-A]
触針式プロファイラー [Dektak 6M]
エリプソメーター [MARY-102FM]
分光エリプソメーター [M2000]
顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]
薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]
ダイシングソー [DAD322]
ダイシングソー [DAD3220]
室温プローバー [MX-200/B]
室温プローバー [HMP-400]
低温プローバー [GRAIL-408-32-B]
液体窒素プローバー [SB-LN2]
ワイヤーボンダー [7476D #1]
ワイヤーボンダー [7476D #2]
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