NIMS-ARIM - 本事業について

本事業について

ARIMについて

◆文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ　－ARIM Japan－

2021年度からスタートしたマテリアル先端リサーチインフラは、2012年度から10年にわたり実施してきたナノテクノロジープラットフォーム事業での「最先端装置の共用」、「高度専門技術者による技術支援」に加え、新たにリモート・自動化・ハイスループット対応型の先端設備を導入し、装置利用に伴い創出されるマテリアルデータを、利活用しやすいよう構造化した上で提供します（2023年度からのデータの全国提供の開始を予定しています）。

本事業にて物質・材料研究機構（NIMS）では、最先端装置の共用により国内外の研究者や技術者を支援するとともに、新たにデータ中核拠点として、全国25の大学・研究機関の共用により得られる高品質なデータを、利用者の許可を得た上で収集・蓄積します。蓄積されたデータは、利用者自身のデータ整理や解析に利用するとともに、グループ間で共有したり、広く公開・共有することで、データ活用型プロジェクトの推進に活用します。

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◆NIMSが担う２つの重要技術領域

量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル

量子・電子技術は、Society 5.0の実現に向け重要な鍵となる最先端基盤技術の１つであり、今後の経済・社会の飛躍的な発展を遂げるために必要不可欠な革新的技術です。本領域では、ハブ・スポーク機関が有する特徴的な解析装置と高度な微細加工技術の共用および、マテリアルデータの収集・蓄積・構造化を強力に推進し、量子センサ、フォトニクスデバイス、単電子デバイスなど革新的機能を発現する量子・電子材料のデータ駆動型研究開発に貢献します。

マテリアルの高度循環のための技術

持続的発展可能な社会の実現には、マテリアルの使用量低減・代替・再利用や未使用資源の有効利用など、マテリアル循環のための技術が欠かせません。本領域では、ハブ・スポーク機関が有する種々の先端機器の共用を通じて、代替材料や再生材料由来の物質合成、材料削減に資する触媒反応の可視化などマテリアル循環に関わる支援をするとともに、創出されたデータを効率よく収集・蓄積・構造化し、その利活用を図ることで、サステイナブルなマテリアルのデータ駆動型研究開発に貢献します。

NMR
表面・バルク分析
TEM

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半導体基盤プラットフォームについて

1. 半導体基盤プラットフォームとは

半導体産業が抱える研究開発課題の解決や⾰新的なアイデア・シーズの持続的な創出、将来を担う半導体分野の⼈材育成には、様々なアプローチからの基礎・基盤研究を可能とする研究環境の構築が重要であるものの、⼤学等の個々の研究室や企業の研究ラインにおいて、半導体製造に必要となる多種多様な研究設備を整備することは困難です。

そこで、全国25の研究機関に分散・ネットワーク型の先端共⽤設備を有するマテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）を活⽤して、半導体分野の研究基盤を連携・強化させ、幅広い半導体研究開発のユーザーからのアクセスを可能とするためのネットワーク（半導体基盤プラットフォーム；ARIM-SETI (SEmiconductor Technology Infrastructure)）を構築します。これにより、我が国の半導体分野の研究開発・⼈材育成の底上げと裾野拡⼤を⽬指します。

2. サービス内容

半導体プラットフォームでは、材料・プロセス・デバイスからシステムまでの多種多様な研究開発を加速させます。半導体デバイスで利⽤する新規材料、新材料や新機能・特殊な構造をもつデバイス・集積回路およびそれらの⾼密度集積、集積回路を利⽤した応⽤システムの研究開発を幅広く⽀援します。

3. NIMSが提供できる支援内容

◆半導体の試作

・二次元材料を用いたデバイスのプロセス支援

・化合物半導体高周波デバイスのプロセス支援

・ダイヤモンド半導体デバイスのプロセス支援

・半導体フォトニックデバイスのプロセス支援
等

◆半導体の評価

・透過型電子顕微鏡による半導体材料の局所構造解析

・X線回折による半導体材料の結晶評価

・硬X線光電子分光による半導体界面の状態評価

・ラマンイメージングによる半導体基盤の応力評価
等