TEM分野(並木地区)

300kV収差補正電子顕微鏡
(JEM-ARM300F)


下記特徴により、電子線損傷を受けやすい試料の観察、分析を可能としています。
1.収差補正レンズによる超高分解能
2.デュアルEDS検出器による高感度分析機能
3.高感度・高速カメラによるロードーズ観察および動画観察
4.60から300kVの広加速電圧機能

単原子分析電子顕微鏡
(FEI Titan Cubed)


照射レンズ系、結像レンズ系のそれぞれに収差補正機能を搭載することにより、世界最高レベルの空間分解能で観察できます。また、モノクロメータ電子銃を搭載し、単色ビームによる高エネルギー分解能EELSが可能です。

無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置
(Model 1040 Nanomill)


従来の10分の1のエネルギーで薄片化できるArイオンミリング装置です。イオン励起二次電子像の観察が可能で、所望な領域のみを薄片化でき、クロスコンタミ、リデポ等による試料汚染を極力抑えることが可能。

冷陰極電界放出形ローレンツ電子顕微鏡
(HF-3000L)


300kV冷陰極電界放出形電子銃を搭載し、ローレンツ像が観察できます。また、専用ホルダーにより極低温条件でローレンツ観察が可能です。

冷陰極電界放出形電子顕微鏡
(HF-3000S)


300kV冷陰極電界放出形電子銃およびエネルギーフィルターを搭載し、高エネルギー分解能EELSが可能です。また、専用ホルダーにより極低温条件でTEM観察ができます。

セラミックス試料作製装置群
(Ceramics sample preparation facilities)


セラミックス材料、半導体材料に対し切断、機械研磨、ディンプリング、イオン研磨を行うことで電顕観察用試料を作製できます。また、低加速イオンミリングにより試料表面のダメージ層を除去できます。

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