TEM分野：並木地区 TEM Field：Namiki-site
NM-403
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置
(NX5000)
FIB-SEM combined apparatus for automatic preparation of TEM specimens
半導体・セラミックス等のTEM試料作製
NM-404
無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置
(Model 1040 Nanomill)
Damage-less TEM specimen milling apparatus
透過電子顕微鏡観察用薄膜試料の作製
NM-407
セラミックス試料作製装置群
Ceramics sample preparation facilities
セラミックス材料、半導体材料に対し切断、機械研磨、ディンプリング、イオン研磨を行うことで電顕観察用試料を作製できます。また、低加速イオンミリングにより試料表面のダメージ層を除去できます。