半導体・セラミックス等のTEM試料作製

透過電子顕微鏡観察用薄膜試料の作製

セラミックス材料、半導体材料に対し切断、機械研磨、ディンプリング、イオン研磨を行うことで電顕観察用試料を作製できます。また、低加速イオンミリングにより試料表面のダメージ層を除去できます。