研究活動

水素センサ
「酸化物単結晶の表界面によるガスセンシングとイオンビームその場分析によるメカニズム解析」

◆研究の背景◆
クリーンなエネルギー源として水素が注目され、その製造、運搬、利用等において、水素ガスの漏洩検知技術への社会的な要請が高まっています。現状では、水素の高感度検知には酸化物半導体ガスセンサが使われていますが、原理的に、ガス選択性に難点があります。


◆研究の狙い◆
金属酸化物半導体の単結晶をセンシング材料として用い、その表面・界面の特性を利用して、水素とその他のガスを区別しつつ、両者を高感度で検出可能なガスセンサを開発します。またそのためには、ガスセンサ駆動中の表面分析が必要となることから、それを可能にするその場イオンビーム分析法を開発します。

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