3次元アトムプローブユニット

3次元アトムプローブ（3DAP）による最先端のナノ組織解析技術

技術

原子の3次元マップを描くユニークな解析手法

3次元アトムプローブ（3DAP; three-dimentional atom probe, or APT: atom probe tomography）は、曲率半径~ 50 nmの針状試料先端からイオン化された原子が検出器に到達するまでの飛行時間（Time-of-Flight）と検出位置（x, y）を連続的（z）に計測することにより、100万倍以上の倍率での原子分布を3次元に可視化できる唯一の手法です。

3DAP
×TEM

3DAPによる最先端のナノ組織解析技術

3DAPを用いることでナノスケールのデバイスでの元素分布、材料内の元素の不均一な分布、半導体ドーパントなどの微量添加元素を精度良く解析することができます。そこで当ユニットでは3DAP法を中心とし、電子顕微鏡ユニットと連携しながら透過電子顕微鏡（TEM）と組み合わせた相補的解析を実施、これによって、精緻かつ高度なナノ組織解析サービスを提供します。