3次元アトムプローブユニット | NIMS

標準アトムプローブデータセット

アトムプローブ（APT）法による組織解析は主に(1) 針状APT試料の作製、(2) APT測定、(3) APTデータ解析の3つのステップに分けられます。近年では、商用APT装置のハードウェアおよび測定プログラムの劇的な進化によって、「(2) APT測定」は自動化が比較的進み、操作者にとってのハードルは下がってきました。その一方で、経験や技能が求められる「(1) 針状APT試料作製」と、APTの原理から材料に至るまで幅広く高い専門知識が必要な「(3) APTデータ解析」が、APT法の活用において障壁となっているのが現状です。そこで、ここでは「(3) APTデータ解析」の一助となるべく、典型的な材料のAPTデータセットを随時公開していく予定です。