Invizo6000
深紫外レーザーアトムプローブ
装置リストEquipments
【NF0273】深紫外レーザーアトムプローブ（Invizo6000）
- 外部利用：https://nims-open-facility.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=360
- 内部利用：http://awayame.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=579（※NIMS構内ネットワークからのみアクセス可）
【NF0290】局所電極型レーザーアトムプローブ解析装置（LEAP5000XS）
- 外部利用：https://nims-open-facility.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=359
- 内部利用：http://awayame.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=615（※NIMS構内ネットワークからのみアクセス可）
【NF0289】アトムプローブ・透過型電⼦顕微鏡試料作製装置（HeliosG4UX）
- 外部利用：https://nims-open-facility.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=358
- 内部利用：http://awayame.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=614（※NIMS構内ネットワークからのみアクセス可）
アトムプローブ装置の特長比較表Specification Comparison of Atom Probe Tomograpyhy Equipments at NIMS, and the Others
| Invizo6000 (AMETEK) |
LEAP5000XS (AMETEK) |
NIMS独自開発レーザー補助3DAP | LEAP6000XR (AMETEK) |
LEAP5000XR (AMETEK) |
|
|---|---|---|---|---|---|
| 外観 |  |
 |
 |
* Not at NIMS | * Not at NIMS |
| イオン軌道 | Straight | Straight | Straight | Reflectron | Reflectron |
| 検出効率 | ~ 62 % | ~ 80 % | 30 ~ 40 % | ~ 50 % | ~ 50 % |
| レーザー | 257.5 nm | 355 nm | 1030, 515, 343, 257.5 nm | 257.5 nm | 355 nm |
| 特長 |