3次元アトムプローブユニット | NIMS
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Equipments
Invizo6000
深紫外レーザーアトムプローブ
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LEAP5000XS
局所電極型レーザーアトムプローブ
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HeliosG4UX
アトムプローブ・TEM試料作製装置
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【NF0273】深紫外レーザーアトムプローブ(Invizo6000)
外部利用:
https://nims-open-facility.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=360
内部利用:
http://awayame.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=579
(※NIMS構内ネットワークからのみアクセス可)
【NF0290】局所電極型レーザーアトムプローブ解析装置(LEAP5000XS)
外部利用:
https://nims-open-facility.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=359
内部利用:
http://awayame.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=615
(※NIMS構内ネットワークからのみアクセス可)
【NF0289】アトムプローブ・透過型電⼦顕微鏡試料作製装置(HeliosG4UX)
外部利用:
https://nims-open-facility.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=358
内部利用:
http://awayame.nims.go.jp/facility.php?mode=detail&code=614
(※NIMS構内ネットワークからのみアクセス可)
アトムプローブ装置の特長比較表
Specification Comparison of Atom Probe Tomograpyhy Equipments at NIMS, and the Others
Invizo6000
(
AMETEK
)
LEAP5000XS
(
AMETEK
)
NIMS独自開発レーザー補助3DAP
LEAP6000XR
(
AMETEK
)
外観
* Not at NIMS
イオン軌道
Straight
Straight
Straight
Reflectron
検出効率
~ 62 %
~ 80 %
30 ~ 40 %
~ 50 %
レーザー
257.5 nm
355 nm
1030, 515, 343, 257.5 nm
257.5 nm
特長
新設計のイオン軌道による従来比較で
4倍以上の分析視野
DUVレーザーによる
データ品質向上
検出効率 ~ 80%
試料の
大気非暴露&低温維持搬送可能
にアップグレード済み
レーザー波長可変式で、短波長化(UVレーザー採用)により
世界で初めて絶縁体バルクのAPT解析に成功
質量補正リフレクトロン採用に加えて、DUVレーザー+電圧パルスの同期による
質量分解能追及型
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