3次元アトムプローブユニット | NIMS

局所電極型レーザーアトムプローブ
LEAP5000XS (AMETEK)

千現地区 標準実験棟 537室

3次元アトムプローブ（3DAP; three-dimentional atom probe, or APT: atom probe tomography）は、電子顕微鏡では分析困難な軽元素を含む全ての元素について個々の原子の同定と位置決定ができるユニークな分析装置で、さまざまな材料やデバイス中の元素分布の3次元解析に威力を発揮します。LEAP5000XSは局所電極型でTEMグリッドの挿入も可能となっており、緻密なTEM/APT同一視野解析が可能となっています。

Specifications
レーザーパルス
  • 355nm波長（紫外域）レーザーパルスによる電界蒸発補助
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    イオン軌道
  • ストレートタイプ
  • 検出効率 ~ 80%
    		•
    特長
  • TEM/APT同一視野解析が可能（TEMグリッドの挿入可能）
  • 専用スーツケースを用いて試料の大気非暴露＆低温維持搬送が可能
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    【NF0290】局所電極型レーザーアトムプローブ解析装置（LEAP5000XS）