3次元アトムプローブユニット | NIMS

局所電極型レーザーアトムプローブ
LEAP5000XS (AMETEK)

千現地区 標準実験棟 537室

3次元アトムプローブ（3DAP; three-dimentional atom probe, or APT: atom probe tomography）は、電子顕微鏡では分析困難な軽元素を含む全ての元素について個々の原子の同定と位置決定ができるユニークな分析装置で、さまざまな材料やデバイス中の元素分布の3次元解析に威力を発揮します。LEAP5000XSは局所電極型でTEMグリッドの挿入も可能となっており、緻密なTEM/APT同一視野解析が可能となっています。