3次元アトムプローブユニット | NIMS

FIB-SEM複合装置
HeliosG4UX (Thermo Fisher Scientific)

千現地区 標準実験棟 537室

集束イオンビーム（FIB; Focused Ion Beam）と走査型電子顕微鏡（SEM; Scanning Electron Microscope）の複合装置（FIB-SEM）です。各種検出器を用いたSEM観察に加えて、FIB微細加工（リフトアウト法）を用いて特定領域からの3次元アトムプローブ/TEM試料作製が可能となっています。