3次元アトムプローブユニット | NIMS

深紫外レーザーアトムプローブ
Invizo6000 (AMETEK)

千現地区 標準実験棟 531室

3次元アトムプローブ（3DAP; three-dimentional atom probe, or APT: atom probe tomography）は、電子顕微鏡では分析困難な軽元素を含む全ての元素について個々の原子の同定と位置決定ができるユニークな分析装置で、さまざまな材料やデバイス中の元素分布の3次元解析に威力を発揮します。Invizo6000は深紫外域（Deep UV）のレーザーパルスを用いることで定量性やデータ取得成功率の向上に加えて、新設計フライトパスにより従来よりも広領域からの3次元データの取得が可能となっています。

Specifications
レーザーパルス
  • 257.5nm波長（深紫外域）レーザーパルスによる電界蒸発補助
  • 針状試料への2方向からのレーザー照射
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    イオン軌道
  • ストレートタイプ
  • 新設計のイオン軌道により従来比で4倍以上の広視野からの3DAPデータ取得可能
    		•
    Publications by using Invizo6000
    2026
    1. "Grain-boundary engineering of Sm(Fe,Co)12-B thin films via boron absorption", J. Uzuhashi, Y. Mori, T. Koyama, T. Abe, Y.K. Takahashi, and T. Shima, Acta Mater. 309, 122098 (2026)
    2. "Spinodal Magnetoresistive Memristors", T. Yamamoto, T. Ichinose, J. Uzuhashi, S. Tsunegi, T. Nozaki, T. Ohkubo, S. Tamaru, K. Yakushiji, H. Kubota, and S. Yuasa, Adv. Funct. Mater. 36, e23154 (2026)
    3. "The Effect of Na and Ag Doping − Alone and in Combination − on SnS1-xSex Nanostructured Thermoelectric Materials", I. Minowa, M. Takahashi, S. Moore, J. Uzuhashi, T. Ohkubo, and S. Maenosono, Sustain. Energy Fuels 10, 1303-1312 (2026)
    2025
    1. "High entropy oxide epitaxial films with interface perpendicular magnetic anisotropy and tunnel magnetoresistance effect toward spintronic applications", R. Sihombing, T. Scheike, J. Uzuhashi, H. Yasufuku, T. Ohkubo, Z. Wen, S. Mitani, and H. Sukegawa, Mater. Today 88, 12-23 (2025)
    2. "Characterization of Precipitates in Cu–Ni–Si Alloys with Different Si Contents by SAXS, SANS, and APT", H. Sasaki, Y. Oba, K. Hiroi, M. Onuma, J. Uzuhashi, and T. Ohkubo, J. Jpn. Inst. Copper 64, 59-64 (2025)