3次元アトムプローブユニット | NIMS

NIMS独自開発レーザー補助3DAP

レーザー波長可変式で、短波長化(UVレーザー採用)により世界で初めて絶縁体バルクのAPT解析に成功した、NIMS独自開発レーザー補助アトムプローブ装置です。

Specifications
レーザーパルス
  • 1030, 515, 343, 257.5 nmレーザー波長可変式による電界蒸発補助
  • イオン軌道
  • ストレートタイプ
  • 検出効率 30 ~ 40%