3次元アトムプローブユニット | NIMS
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NIMS独自開発レーザー補助3DAP
レーザー波長可変式で、短波長化(UVレーザー採用)により世界で初めて絶縁体バルクのAPT解析に成功した、NIMS独自開発レーザー補助アトムプローブ装置です。
Specifications
レーザーパルス
1030, 515, 343, 257.5 nmレーザー波長可変式による電界蒸発補助
イオン軌道
ストレートタイプ
検出効率 30 ~ 40%
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