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現状の微細加工技術の限界を超える ! ナノインプリントリソグラフィー

最新研究映像 NIMSの力 27

2017.03.08 公開


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解説

物質に対して微細な加工をおこなう技術が広く実用化されている分野は半導体加
工ですが、現在実用化されている「光リソグラフィー」や「電子線リソグラフィー」
でも困難だったごく微細なスケールのパターンを、しかも短時間で可能にする技
術がNIMSと東北大が可能にしました。
 
原理はとても単純、スタンプを押すこと。
ナノインプリントリソグラフィーという新技術です。
成功の秘訣は、金属とレジスト樹脂を結びつけるプライマーにありました。
 
この新技術を使って、既に光メタマテリアルという負の屈折率をもつパターンを
刻むことにも成功しています。
 
どんな仕組みなのか、ご紹介します。

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