スピントロニクスグループ
スピントロニクスグループの研究は、成膜および微細加工による試料作製と、試料評価の二つに大きく分けることができます。ここでは本グループで使用している主要な装置に関して紹介いたします。その他の装置類については、下記の磁性・スピントロニクス材料研究拠点ホームページをご覧ください。
磁性・スピントロニクス材料研究拠点の主要装置一覧へ
成膜装置
超高真空成膜用クラスター
超高真空スパッタ装置
多目的高真空蒸着装置
成膜装置
多目的スパッタ装置
電子線蒸着法とスパッタ法について
微細加工装置
電子ビーム露光装置
マスクアライナー(1)
マスクアライナー(2)
微細加工装置
Arイオンミリング装置
微細加工プロセスについて
測定装置
試料振動型磁力計
SQUID磁力計
高磁界マイクロKerr効果測定装置
測定装置
走査型電子顕微鏡
PPMS
CIPT
測定装置
小型電磁石
マイクロ波プローバー
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