スピントロニクスグループの研究は、成膜および微細加工による試料作製と、試料評価の二つに大きく分けることができます。ここでは本グループで使用している主要な装置に関して紹介いたします。その他の装置類については、下記の磁性・スピントロニクス材料研究拠点ホームページをご覧ください。
  • 磁性・スピントロニクス材料研究拠点の主要装置一覧へ

  • 成膜装置
    超高真空成膜用クラスター 超高真空スパッタ装置 多目的高真空蒸着装置
    成膜装置
    多目的スパッタ装置

  • 電子線蒸着法とスパッタ法について

  • 微細加工装置
    電子ビーム露光装置 マスクアライナー(1) マスクアライナー(2)
    微細加工装置
    Arイオンミリング装置

  • 微細加工プロセスについて

  • 測定装置
    試料振動型磁力計 SQUID磁力計 高磁界マイクロKerr効果測定装置
    測定装置
    走査型電子顕微鏡 PPMS CIPT
    測定装置
    小型電磁石 マイクロ波プローバー

    インデックス

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    関連リンク