CIPT装置

 CIPT装置は，TMRウエハー表面の電気抵抗をダイレクトに測定することで，トンネル磁気抵抗（TMR）比およびバリア層の面積抵抗（RA）を測定できる装置です。ピッチが異なった12端子プローブのうち4端子を組み替えることで，異なった平均プローブピッチに対してシート抵抗測定を行うことができます（下図上）。これらを規定の計算式でフィッティングすることで，TMR比，RAを求めることができます（下図下）。

 本来，これらを評価するためには，リソグラフィーやエッチングなどの微細加工のため，1日～数日かかるプロセスが必要ですが，CIPTではウェハから直接TMR，RAの評価が可能になります。右では188%のTMR比と184Ωμcm2のRA値がフィッティングから求まっています。