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非破壊評価手法を用いた材料製造プロセスのモニタリング

Process Monitoring by Non-Destructive Evaluation Methods

伊藤 海太 ITO.Kaita@nims.go.jp

先進的な材料の開発には、製造プロセスを最適化し、さらに精密に実行するため、プロセスの監視 = 「プロセスモニタリング」が大きな役割を果たします。非破壊評価の一種、アコースティック・エミッション (Acoustic Emission, AE) 法は材料中の µm オーダの割れをリアルタイムに検出し、異常が発生した時刻と位置の両方を知らせられるため、プロセスモニタリングにも有用な技術です。

本研究ではこのための AE 計測システムを開発しています。一般的な圧電センサに代えてレーザ干渉計を用いた非接触計測、連続的に計測した波形情報からノイズを徹底的に除去する波形処理装置によって、プラズマ溶射のような高温高ノイズのプロセスでも AE 計測が行えるようになりました。

NIMS のスローガンで「使われてこそ材料」と言いますが、その材料開発を支える評価技術も「使われてこそ」の存在です。共同研究のお誘いをお待ちしております。

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