電極３D構造構築と解析

リチウムイオン電池の電極など多孔構造を有する試料を対象に、FIB-SEMによる3次元像の取得を行います。一連の断面像を連結させることで3次元構造体として再構築し、その構造解析が可能です。最大で横幅約400 mm程度まで断面像を取得することができ、一部のEDS分析なども可能です。