マルチモーダル分析電子顕微鏡
Multimodal Analytical Electron Microscope
Talos F200X G2 (Thermo Fisher Scientific)
千現地区 精密計測実験棟 128室材料開発に必要な形態観察、元素分析、場の観察：TEM観察、回折図形取得、STEM（明視野、暗視野）、EDS測定、DPC測定、Tomography（TEM/STEM/EDS）。
加速電圧：200kV,80kV / 電子銃：超高輝度冷陰極電解放出型電子銃 / TEMインフォメーションリミット：0.11nm（200kV） / STEM分解能（HAADF）：0.14nm（200kV） / EDS検出器：SSD検出器×4、立体角；0.9srad / カメラ：CMOSカメラ / 分割型検出器