研究者体験コース

薄膜プロセスと微細加工技術を用いて、スピントロニクスデバイスの作製を体験します。まずシリコン基板上に、超高真空スパッタリング装置で金属薄膜を成長させ、その上にフォトリソグラフィでレジストパターンを形成し、さらにアルゴンイオンをぶつけて金属薄膜をパターニングします。この実験により、磁気センサ、磁気メモリ、半導体集積回路素子の作製プロセスを学ぶことができます。

• 磁性・スピントロニクス材料研究センター 磁気機能デバイスグループ

代表的な耐食材料であるチタンの優れた耐食性の機序を、シンプルな電気化学的手法によるカラーリング体験を通じて学び、耐食金属材料の理解を深めます。優れた耐食性を発揮する金属材料表面には、不働態皮膜という目に見えないごく薄い保護性の酸化皮膜があり、この膜で内部が腐食から保護されています。チタンの酸化皮膜は、水溶液中で通電することで厚さが増加するため、皮膜形成を色の変化として観察できます。

• 構造材料研究センター 腐食研究グループ

2022年にフランスで開催された『第二回ナノカーレース』で優勝したナノカーの運転テクニックをお教えします。ナノカーとして使われた単分子を、超高真空下でプローブ顕微鏡を用いて動かす分子操作技術を実際に体験してもらいます。

• マテリアル基盤研究センター ナノプローブグループ

透過型電子顕微鏡（Transmission electron microscope;TEM）の様々な機能を実際に体験します。

• レンズ電流を変更することで、実像と回折図形を切り替えての観察
• 収束した電子を走査させて走査透過型電子顕微鏡（STEM）像の取得、明視野像と暗視野像による観察
• X線検出器を用いて観察領域の元素分析

• 技術開発・共用部門 材料創製・評価プラットフォーム/電子顕微鏡ユニット