大学院プログラム
/
ポスドク募集
/
採用情報
/
アクセス
/
English Home
HOME
概 要
ニュース
メンバー
論文リスト
主要装置
イベント
FIB-SEM複合装置
Home
>
主要装置
> - FIB-SEM複合装置
主要装置
- 超高真空クラスタースパッタ成膜装置
- 時間分解磁気光学カー効果測定装置 TRMOKE
- 微細加工装置
- 走査型透過電子顕微鏡 Titan G2 80-200
- 局所電極型アトムプローブLEAP5000
- FIB-SEM複合装置
- 独自開発レーザー補助アトムプローブ
FIB-SEM複合装置
FIB: Focused Ion Beam(微細加工)
SEM: Scanning Electron Microscope(観察)
FIB-SEM複合装置を用いたTEM試料作製の例
FIB-SEM複合装置を用いたマイクロサンプリング法により、試料の任意領域からTEM試料を作製することができます。結晶粒界、複相組織の異相界面、多層膜の界面、デバイスの任意領域のTEM観察が可能です。以下に任意領域からTEM試料を作製する一例をアニメーションで示しています。
FIB-SEM複合装置を用いた3DAP試料作製手順
Page top