FIB-SEM複合装置
FIB: Focused Ion Beam（微細加工）
SEM: Scanning Electron Microscope（観察）
SEM: Scanning Electron Microscope（観察）
FIB-SEM複合装置を用いたTEM試料作製の例
FIB-SEM複合装置を用いたマイクロサンプリング法により、試料の任意領域からTEM試料を作製することができます。結晶粒界、複相組織の異相界面、多層膜の界面、デバイスの任意領域のTEM観察が可能です。以下に任意領域からTEM試料を作製する一例をアニメーションで示しています。
FIB-SEM複合装置を用いた3DAP試料作製手順
