NIMS-ARIM - 新共用装置のお知らせ : 微細加工分野

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2026.02.01

微細加工分野で新たに2台の共用装置の利用を開始いたしました。

・マスクレス露光装置 [DL-1500iS2]
・HMDSベーク処理装置 [APPS-30]

どうぞご利用ください。