主要装置一覧

薄膜創製装置:

超高真空クラスタースパッタ成膜装置
 トランスファーチャンバで結合された複数の超高真空スパッタ成膜チャンバーを有する成膜装置。大気暴露をすることなく最大で18元ソースを利用した成膜が可能です。本装置によって作製した高品位な巨大磁気抵抗素子において世界最高レベルの磁気抵抗特性を実現しています。
7元超高真空同時スパッタ装置
6元超高真空基板回転スパッタ装置
5元超高真空スパッタ装置
5元マグネトロンスパッタ装置
超高真空スパッタクラスター装置
10元マグネトロンスパッタ装置

微細加工装置:

JEOL 電子線描画装置 JBX-6300SM
 高加速電圧(100 kV)により、最小線幅7 nmの描画が可能な電子線描画装置です。自動装置補正、自動マーク検出等の機能を備え、再現性の高いナノ構造パターニングができます。主にスピントロニク ス材料のデバイスレベルでの評価を行うためにの加工装置として用いています。
マスクアライナー
マスクアライナー
Arイオンミリング装置

透過型電子顕微鏡、及びTEM試料作製装置:

FEI Titan G2 80-200
 球面収差補正(Cs-corrected)により電子線を非常に小さく収束させ、原子間距離を下回る0.08nmの空間分解能を持つ。単原子レベルでの構造観察や、EDS(Energy Dispersive x-ray Spectroscopy), EELS(Electron Energy-Loss Spectroscopy)等元素分析が可能な高分解能走査型透過電子顕微鏡(S/TEM)です。
FEI Tecnai 20
(共用設備)
DITABIS TEMイメージングプレート用スキャナー
精密イオンミル
PIPS w/cold stage
イオンミリング装置
Fishione Model3000
イオンスライサー
JEOL EM-09100
イオンミリング装置
TEM Mill Model1050

FIB-SEM複合装置:

FEI Helios NanoLab 650
 走査型電子顕微鏡(SEM)と集束イオンビーム(FIB)の複合装置です。SEM観察、FIBによるミリング&デポジション、マイクロマニピュレーターによるマイクロサンプリング法を用いた任意領域からのTEM試料作製やアトムプローブ試料作製に加え、EDS(Energy Dispersive x-ray Spectroscopy)分析、EBSD(Electron BackScatter Diffraction)解析も可能です。
FIB-SEM複合装置
CarlZeiss 1540EsB
FIB装置
Hitachi FB2100
JEOL 卓上走査電子顕微鏡
観察用断面/平面ミリング
Hitachi IM4000

3次元アトムプローブ:

LEAP 5000 XS(CAMECA社製)

CAMECA LEAP 5000 XS
 3次元アトムプローブは、サブnmの空間分解能で元素を3次元マッピングすることにより各種材料の元素分布を3次元で解析することができます。
 LEAP5000XSはLEAPシリーズ独自の局所電極を採用することで約100万倍の倍率で最大250nm径のデータを高速(~500万原子/分)に測定することが可能です。改良されたDelay-Line検出器により原子の3次元位置情報(X,Y,Z)を最大80%の検出効率で取得します。
 UVレーザパルスモード搭載型ストレートパスです。

レーザー補助広角3次元アトムプローブ(独自開発)

レーザー補助広角3次元アトムプローブ
 フェムト秒レーザーにより電界蒸発をアシストするレーザー補助広角3次元アトムプローブです。金属材料のみならず、半導体デバイス・絶縁体材料のナノ領域の原子分布を可視化します。またFIB-SEM複合装置を用いたマイクロサンプリング法により、任意領域からの分析も可能になっています。
レーザー補助高分解能
3次元アトムプローブ
エネルギー補償型
3次元アトムプローブ

物性測定装置:

完全無冷媒型PPMS DynaCool
Lake Shore
振動試料型磁力計 7410
Kerr効果顕微鏡
蛍光X線分析装置(XRF)
Rigaku ZSX Primus Ⅱ
点接触Andreev反射測定装置
試料振動型磁力計
振動式高感度磁化率測定装置
示差走査熱量計
超伝導量子干渉計-試料振動型磁力計
高磁界μKerr効果測定装置
高精度X線回折装置
Rigaku SmartLab
走査型電子顕微鏡
物理特性測定装置
CIPT装置
小型電磁石
インストロン引張試験機

合金・粉末作製装置:

アーク溶解鋳造装置
アーク溶解炉
単ロール液体急冷装置
高周波誘導溶解炉
遊星ボールミル
真空グローブボックス
磁場中成形油圧プレス装置
赤外線加熱炉
磁場中熱処理炉
雰囲気中液体急冷装置
高速加熱冷却ホットプレス
HDDR処理装置
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