磁性・スピントロニクス材料研究センター

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微細加工装置

高加速電圧(100 kV)により、最小線幅7 nmの描画が可能な電子線描画装置です。自動装置補正、自動マーク検出等の機能を備え、再現性の高いナノ構造パターニングができます。主にスピントロニクス材料のデバイスレベルでの評価を行うためにの加工装置として用いています。