アトムプローブ装置 - LEAP5000XS

局所電極型アトムプローブ装置 - LEAP5000XS

 3次元アトムプローブは、電子顕微鏡では分析のできない軽元素を含む全ての元素について個々の原子の同定と位置決定ができるユニークな分析装置で、さまざまな材料やデバイス中の元素分布の3次元解析に威力を発揮します。

 3次元アトムプローブ法は、針状試料の先端からレーザーでイオン化される原子の質量と位置を同時計測することにより、100万倍以上の倍率で原子分布を3次元トモグラフィーとして可視化できる唯一の手法です。例えば、ナノスケールのデバイス中の元素分布や材料中の元素の不均一な分布を精度良く解析することができます。最先端の透過型電子顕微鏡(TEM)を使っても、軽元素が欠陥などに偏析している様子を定量的に解析することは困難ですが、3次元アトムプローブを使うと原子面の欠陥や転位とよばれる結晶中の一次元欠陥に元素が偏析している様子を直接観察することができます。

 LEAP5000XSは、UVレーザパルスモード搭載型ストレートパスです。
関連リンク:
CAMECA LEAP5000XS
 冷却システム(~100K程度)を実装したFIB装置内でアトムプローブ試料を作製し、VCTM(Vacuum and Cryo Transfer Module)を用いて大気非暴露及び低温保持のまま試料をアトムプローブ本体へ搬送し測定することも可能となっています。
ThermoFisher DualBeam Helios5UX
with Cryo Stage
VCTM
(Vacuum and Cryo Transfer Module)
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