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走査型透過電子顕微鏡
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主要装置
- 超高真空クラスタースパッタ成膜装置
- 時間分解磁気光学カー効果測定装置 TRMOKE
- 微細加工装置
- 走査型透過電子顕微鏡 Titan G2 80-200
- 局所電極型アトムプローブLEAP5000
- FIB-SEM複合装置
- 独自開発レーザー補助アトムプローブ
走査型透過電子顕微鏡(S/TEM)
FEI Titan G2 80-200
球面収差補正(Cs-corrected)により電子線を非常に小さく収束させ、原子間距離を下回る0.08nmの空間分解能を持つ。単原子レベルでの構造観察や、EDS(Energy Dispersive x-ray Spectroscopy), EELS(Electron Energy-Loss Spectroscopy)等元素分析が可能な高分解能走査型透過電子顕微鏡(S/TEM)です。
Nd
2
Fe
14
B[110]のSTEM/HAADF像
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