走査型電子顕微鏡
Field Emission Scanning Electron Microscope

JSM-7000F (JEOL)

千現地区 精密計測実験棟 212室 / Sengen-site, Physical Analysis Lab. #212

サーマルFEG (Field Emission Gun)を装備した走査電子顕微鏡です。EDSシステムを装備しており、元素分析や元素マップを得ることができます。試料サイズ、材質の制約が少なく、汎用性の高い装置です。

This scanning electron microscope (SEM) is equipped with a thermal FEG (Field Emission Gun). EDS for elemental analysis and mapping is possible. Various sample sizes and various kinds of materials are acceptable.

Specifications
Electron Gun	Schottky type field emission gun
Max. Acc. Voltage	30 kV
Max. Current	200 nA
Resolution	1.2nm (30 kV), 3.0nm (1 kV)
Magnification	×10～500,000
Specimen Holder	12.5mmø、26mmø
Attachments	Energy Dispersive X-ray spectroscopy (JED-2200)
Images	血球のSEM像 SEM image of blood cells.