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NIMS微細加工プラットフォーム <ナノ集積ライン>
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利用実施例
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装置・設備紹介
リソグラフィ
電子線描画装置、レーザー露光装置、マスクアライナー、プラズマアッシャー、UVオゾンクリーナー
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薄膜形成・熱処理
12連電子線蒸着装置、超高真空電子線蒸着装置、スパッタ装置、超高真空スパッタ装置、原子層堆積装置、プラズマCVD装置、急速赤外線アニール炉、シリコン酸化・熱処理炉
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ドライエッチング
多目的ドライエッチング装置、化合物ドライエッチング装置、酸化膜ドライエッチング装置、シリコン深堀エッチング装置
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FIB・計測
FIB-SEMダブルビーム装置(Xvision200)、FIB加工装置(SMI9800SE)、電界放出形走査電子顕微鏡、コーティング装置、原子間力顕微鏡、自動エリプソメータ、触針式表面段差測定装置、3次元測定レーザー顕微鏡、マイクロビーム型多機能高分解能X線回折装置
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切削・研磨・素子評価
ダイシングソー、スクライビング装置、ブレーキング装置、CMP研磨装置、室温測定プローバーシステム、極低温プローバーシステム、ワイヤーボンダー、ワイヤーソー
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