3次元アトムプローブによる解析の仕組み

 解析対象となる試料を先端の曲率半径が50nm程度の針状に加工し、高電圧を印加した試料にレーザーパルスを加えることにより試料表面から原子をイオン化させ、そのイオンの質量と位置を同時計測する原子位置同定型質量分析器です。イオン化は針から検出器表面に投影されて検出されるために、投影倍率が100万倍以上になり、原子位置をサブナノメーターの位置分解能で決定できます。これらを継続的に行うことで、試料表面から、順に蒸発した原子の位置と種類を3次元的に解析する手法です。

3次元アトムプローブで見る原子の立体配置

原子の立体配置が見える!(最新研究映像 NIMSの力 22)
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