(3次元アトムプローブ EIKOS-UV)
3次元アトムプローブは、電子顕微鏡では分析のできない軽元素を含む全ての元素について個々の原子の同定と位置決定ができるユニークな分析装置で、さまざまな材料やデバイス中の元素分布の3次元解析に威力を発揮します。しかし、3次元アトムプローブは、装置が高価格であることや、試料作製にノウハウが必要などの理由により、その普及は限定的でした。
「NIMS-CAMECA 3DAPラボ」では、CAMECAがNIMSに最新鋭の3次元アトムプローブを設置し、ユーザーコンソーシアムを通して外部ユーザーに装置使用の機会を設けると同時に、3次元アトムプローブを企業や大学で標準的な材料解析手法として活用するための技術指導を行います。
2020.12.28
ユーザーコンソーシアム(EIKOSコンソーシアム)は2020年12月をもって終了しました。
2020.5.27
ホームページ内に「
3DAP分析例」のページを追加しました。このページでは、NIMSでこれまでに実施してきた3DAPによる分析例の一部を紹介しています。
2020.1.30
NIMSに設置中の「EIKOS-X」は355nm紫外光レーザを搭載した「EIKOS-UV」にアップグレードしました。