３次元アトムプローブ - NIMS-CAMECA 3DAPラボの装置

CAMECA EIKOS-UV

※「EIKOS-X」は2020年1月に355nmレーザ搭載の「EIKOS-UV」にアップグレードしました。
 EIKOSは高速・高性能の廉価版3次元アトムプローブです。サブnmの空間分解能で元素を3次元マッピングすることにより元素分布を3次元で解析することができます。紫外光(355nm)レーザパルスモード搭載型です。
 LEAP5000シリーズに対し、試料電極、クライオステージ、並びにレーザユニットが簡素化されているのが特徴です。

  • 質量分析：飛行時間型
  • 質量分解能：M/ΔM＞600（半値幅定義）
  • 最大パルスレート：200kHz（レーザーパルスモード時）
  • 最大イオン取得率（イオン数/分）：100万以上

    • CAMECA LEAP5000XS

     LEAP5000は、高速・高性能の3次元アトムプローブLEAP4000の後継機種で、検出感度が40%以上向上しています。
     LEAP5000XSはLEAPシリーズ独自の局所電極を採用することで約100万倍の倍率で最大250nm径のデータを高速に測定することが可能です。改良されたDelay-Line検出器により原子の3次元位置情報(X,Y,Z)を最大80%の検出効率で取得します。半導体・絶縁物の測定にも対応するUVレーザパルスモード搭載型ストレートパスです。

  • 質量分析：飛行時間型
  • 質量分解能：M/ΔM＞800（半値幅定義）
  • 最大分析領域：250nm径
  • 最大パルスレート：1000kHz（レーザーパルスモード時）
  • 最大イオン取得率（イオン数/分）：500万以上

    • FEI HeliosG4

     走査型電子顕微鏡(SEM)と集束イオンビーム(FIB)の複合装置です。マイクロサンプリング法を用いることで、結晶粒界、複相組織の異相界面、多層膜の界面、デバイスの任意領域、ナノワイヤ等からのアトムプローブ試料作製が可能です。
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