主要な装置一覧
磁性・スピントロニクス材料研究センターの研究活動に使用している装置はNIMSの共用装置も含めて多岐に渡りますが、このページではセンター保有の主要な装置を掲載しています。そのほかの装置群については各グループのホームページをご覧ください。
全自動操作可能超高真空チャンバークラスター成膜装置
PCによる全自動操作が可能な超高真空チャンバークラスター成膜装置です。ロボット搬送機構によって、準備室から各成膜チャンバーに自動で基板を搬送できます。
リアルタイムロックイン3次元赤外線発熱解析装置
材料やデバイスに周期的な外部刺激（電流、電場、磁場、熱、光、ひずみなど）を与えた際に発生する熱応答を超高感度にイメージング測定できる装置です。
時間分解磁気光学カー効果測定装置
磁気光学カー効果は、光が磁性材料の表面で反射する際、磁性材料の磁化状態に応じて偏光状態が変わる現象です。これを応用することで、磁化状態の変化を観察することができます。
球面収差補正走査型透過電子顕微鏡
単原子レベルでの構造観察や、EDS（Energy Dispersive x-ray Spectroscopy）、EELS（Electron Energy-Loss Spectroscopy）等元素分析が可能な高分解能走査型透過電子顕微鏡（S/TEM）です。
SEM観察装置
SEM観察（SEM; Scanning Electron Microscope）に特化した装置です。
FIB加工装置
微細加工（FIB; Focused Ion Beam）装置にSEM観察（SEM; Scanning Electron Microscope）機能が複合した装置です。
