SEM観察装置

SEM観察（SEM; Scanning Electron Microscope）に特化した装置で、真空チャンバー内でのレーザー加工やFIB加工（FIB; Focused Ion Beam）による平面研磨も可能となっており、SEM観察（二次電子像、反射電子像）、EDS元素分析、EBSD方位解析、SEMトモグラフィーを可能にします。