FIB加工装置

微細加工（FIB; Focused Ion Beam）装置にSEM観察（SEM; Scanning Electron Microscope）機能が複合した装置で、マイクロマニピュレーターを用いたマイクロサンプリング法により、試料の任意領域からTEM/3DAP試料を作製することができます。
結晶粒界、複相組織の異相界面、多層膜の界面、デバイスの任意領域のナノ組織解析を可能にします。さらにPythonスクリプトによる自動制御やサンプルを－150℃程度まで冷却しながらのFIB加工にも対応しています。