球面収差補正走査型透過電子顕微鏡

球面収差補正（Cs-corrected）により電子線を非常に小さく収束させ、原子間距離を下回る0.08nmの空間分解能を有しています。
単原子レベルでの構造観察や、EDS（Energy Dispersive x-ray Spectroscopy）、EELS（Electron Energy-Loss Spectroscopy）等元素分析が可能な高分解能走査型透過電子顕微鏡（S/TEM）です。