NIMS-ARIM/ユニット共催 ユーザースクール「3次元リソグラフィ技術(DWL66+)」
2026.10.23 10:00
~ 2026.10.23 17:00
レーザー描画装置(DWL66+)による3次元リソグラフィ技術の概要について説明した後、露光から現像まで一連のプロセスの実習を行います。
実習では、Beamer を用いた 3DPEC データ変換の基本操作を行い、DWL66+ によるグレースケール露光を用いて3次元構造パターンを作製します。
対象:リソグラフィ経験者優遇(3次元リソグラフィ未経験者歓迎)
講習形式:座学と実習
開催日:2026年10月23日(金)
時間:10:00-17:00
定員:1名
開催場所:物質・材料研究機構 千現地区
締切:8月31日
実習では、Beamer を用いた 3DPEC データ変換の基本操作を行い、DWL66+ によるグレースケール露光を用いて3次元構造パターンを作製します。
対象:リソグラフィ経験者優遇(3次元リソグラフィ未経験者歓迎)
講習形式:座学と実習
開催日:2026年10月23日(金)
時間:10:00-17:00
定員:1名
開催場所:物質・材料研究機構 千現地区
締切:8月31日