ガリウムイオンビーム、電子ビームに加えアルゴンイオンビームを加工用ビームとして用いることが可能なトリプルビーム装置では、ガリウムイオン照射により生じる加工表面のダメージ層を低加速アルゴンイオンミリングにより除去することができます。このダメージレスな微細加工は、高分解能観察用TEM試料作製において非常に有力です。
本研修ではトリプルビーム装置Ethos NX5000を用いて高分解能観察用TEM試料作製の実習を行い、その基礎技術を習得します。

講習形式：座学と実習
開催日：2026年10月22日(木)
時間：13:30-17:30
定員：2名
開催場所：物質・材料研究機構　並木地区