マスクレス露光装置DL-1500iS2を用いた実習を通して、マスクレス露光技術の基礎を学びます。
当施設の他装置との比較を通じて、それぞれの特徴や描画方式の違いを理解します。また、実際に装置を操作し、基本的な直接描画や重ね合わせ描画を体験することで、マスクレス露光プロセスと微細加工技術への理解を深めます。

対象：未経験者歓迎
講習形式：座学と実習
開催日：2026年10月21日(水)
時間：10:00-17:00
定員：1名
開催場所：物質・材料研究機構　千現地区
締切：8月31日