NIMS-ARIM/ユニット共催 ユーザースクール「EBリソグラフィ技術（ELS-BODEN100）」
2026.10.19 10:00
~ 2026.10.19 17:00
本研修では、電子ビーム（EB）描画技術の基礎と実践的な操作を学びます。
講義でEB描画の原理や装置の特徴を概説し、実習では通常描画、重ね合わせ描画、SEM観察を通じて一連のプロセスを体験します。さらに、ARIMデータを活用した適切なドーズ量の設定について解説します。
対象：未経験者歓迎
講習形式：座学と実習
開催日：2026年10月19日(月)
時間：10:00-17:00
定員：3名
開催場所：物質・材料研究機構 千現地区
締切：8月31日
講義でEB描画の原理や装置の特徴を概説し、実習では通常描画、重ね合わせ描画、SEM観察を通じて一連のプロセスを体験します。さらに、ARIMデータを活用した適切なドーズ量の設定について解説します。
対象：未経験者歓迎
講習形式：座学と実習
開催日：2026年10月19日(月)
時間：10:00-17:00
定員：3名
開催場所：物質・材料研究機構 千現地区
締切：8月31日