産業技術総合研究所、東京科学大学、物質・材料研究機構、北海道大学は、2021年度からスタートした文部科学省委託事業である「マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM)」の一環として、『電子線・光リソグラフィ技術』と題して技術セミナーを2025年2月25日（水）にハイブリッド開催いたします。
マスクレスリソグラフィ技術の解説に加え、フォトマスクを用いてナノメートルスケール描画を実現するリソグラフィ技術、各機関の共用施設のリソグラフィに関わる事例等を紹介いたします。
産学官いずれのご所属の方々の奮ってのご参加をお待ちしております。