NIMS-ARIM/NOF共催 ユーザースクール「レーザーリソグラフィ」

2023.10.06 10:00 ~ 2023.10.06 17:00 Closed
レーザーリソグラフィの概要について講義を実施した後、パターン設計から露光、現像まで一連のプロセスの実習を行います。グレースケール露光による3次元構造パターン(マイクロレンズアレイなど)を作製しますので、レーザーリソグラフィ未経験の方から3次元構造作製にご興味のある方までおすすめのプログラムです。

対象:初級者
講習形式:座学と実習
開催日:2023年10月6日(金)
時間:10:00-17:00
定員:4名
開催場所:物質・材料研究機構 千現地区

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